中古 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #9263362 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS 106SAは、高精度フォトマスクおよび光集積回路の製造用に設計された最先端のマスクアライナーです。マスクを露出し、位置決め精度を維持するための洗練された多層真空装置を備えており、効率的で信頼性の高いマスキングソリューションをユーザーに提供します。機械は線形および角度の整列モードで作動し、ユーザーに彼らの必要性のための最も適した解決を選ぶ柔軟性を与えます。ELS 106SAは、正確なX/Yアライメントのためのサイドドライブを備えた真空ベースプレートを備えており、必要な正確な位置と向きでマスクを確実に保持します。エアクッションは、マスクへの圧力を低減するために使用され、アライメントプロセス全体にわたって配置されたままになり、熱膨張やその他の動きによるアライメントエラーの可能性を排除します。エアクッションは、より静かな作業環境にも貢献し、ELS TECHNOLOGY ELS 106SAから無傷でマスクが出現することを保証します。マシンの多段真空システムは、非常に高いマスク精度を達成することができます。これは、マスクの完全なアライメント範囲を正確に決定することができる高精度の回転位置決めユニットを使用することによって可能になります。真空はまた、マスクがアライメントプロセス中にしっかりと取り付けられていることを保証し、ずれのリスクを排除します。これにより、マスクの反りを正確に補正し、さらに精度を高めることができます。ELS 106SAには、従来の方法よりもはるかに小さいレベルを測定できる統合レーザーアライメントマシンが搭載されています。これにより、オペレータの介入を最小限に抑えながら、高い精度と信頼性で正確なアラインメントを実現できます。マシンのオンボードソフトウェアにより、アライメントプロセスを正確かつ再現可能に制御でき、必要に応じてアライメントを調整およびカスタマイズする柔軟性をユーザーに提供します。ソフトウェアのグラフィカルユーザーインターフェイスを介してさらにカスタマイズすることができ、ユーザーはマシンを再プログラムすることなくアライメントを微調整することができます。要するに、ELS TECHNOLOGY ELS 106SAは、高精度で信頼性の高いマスクを製造することができる洗練されたマスクアライナーです。シンプルな線形アライメントから、より高度な角度アライメントまで、幅広いオプションを提供し、ユーザーはニーズに最適なソリューションを選択できます。オンボードソフトウェアと統合されたレーザーアライメントツールにより、オペレータの介入を最小限に抑えた正確なアライメントが可能になり、信頼性の高い効率的なマスキングソリューションをユーザーに提供します。