中古 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #9059476 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS-106SAは、メモリチップ、ロジックデバイス、薄膜トランジスタなどの高品質な半導体デバイスを製造するためのコンパクトで使いやすいマスクアライナーです。ELS-106SAは、最大5mm x 4mmのスキャンエリアで、高解像度フォトマスクをウェーハ表面に正確かつ迅速に配置および転送するように設計されています。ELS TECHNOLOGY ELS-106SAの高度な光学アライメント装置は、すべてのフォトマスクおよびウェーハ層のフィーチャーサイズ、アライメントエラー、オーバーレイ精度、プロセスパラメータを自動的に検出します。ELS-106SAは、フォトマスクとウェーハ層の20nm精度ですべての端子点を自動的に検出する高度なモーター付きアライメントシステムを備えています。また、ウェーハへのフォトマスクパターンのマッピングの位置設定も自動的に制御されます。アライメントユニットは、高精度なダイナミックオーバーレイ測定を提供する内蔵のレーザー散乱機によって強化されており、フォトマスクパターンを以下のフィルム層に正確にアライメントすることができます。ELS TECHNOLOGY ELS-106SAには、ウェーハ上のフォトマスクの正確な位置決めのための高効率ステッピングモーターも装備されています。このモータはインデクサと結合され、ELS-106SAの組み込みマイクロコントローラツールによって駆動され、正確なナノレベルのアライメントを提供します。ELS TECHNOLOGY ELS-106SAはオートフォーカス機能も備えており、より高い解像度と精度で露出を最適化しながら、堅牢なパフォーマンスを提供します。ELS-106SAはまた安定したプロセスを保障するために温度調節器によって調整される周囲温度制御された環境と装備されています。この追加機能は、緊張したシリコン技術などのアプリケーションにとって重要なウェーハの近接性を低くするのに役立ちます。ELS TECHNOLOGY ELS-106SAはスタンドアロンですが、さまざまなテストおよびプロセス要件に合わせて個別に構成することができます。プラットフォームニュートラル試験条件をサポートし、自動欠陥検出およびフォトマスク最適化機能のために他のシステムと統合することができます。ELS-106SAには、リモートアクセスによる資産パフォーマンスの遠隔監視と分析、トラブルシューティングも含まれています。結論として、ELS TECHNOLOGY ELS-106SAは堅牢で信頼性の高いマスクアライナーであり、さまざまな半導体デバイスに高品質のフォトマスクを提供することができます。高度なオートアライメントとオートフォーカス機能により、比類のない精度と再現性が保証され、温度制御された石英素子は、高解像度のウェーハ処理に必要な安定性を提供します。リモートアクセス、プラットフォームの中立性、他のシステムとの統合など、その他の機能はさらに有効性を高めます。