中古 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #293768116 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS 106SAマスクアライナーは、半導体デバイス製造に使用される汎用性、正確性、信頼性の高いリソグラフィーツールです。この装置は、高分解能電子ビーム、X線、光学リソグラフィ用途向けに設計されており、ナノメートルスケールの精度を提供します。このシステムには、マスクアライナー、チャンバー、基板チャック、およびアクセサリーが含まれています。マスクアライナーは、電動ステージを使用してマスクを正確に移動および整列させ、解像度を500nmに抑えます。これは、製造されているデバイスが正確かつ原子的に整列されていることを保証するのに役立ちます。ELS 106SAのチャンバーは、オンアクシス設計のシングルゾーン、ワンピース、サブミクロン・クリーン・クラスのユニットです。この設計により、基板チャックの迅速な挿入と取り外しが可能になり、チャンバーには複数のアクセサリを簡単に統合できるユニークなポーティングマシンがあります。また、高温加熱源を備えており、正確なアライメントのための熱補償を提供します。ELS TECHNOLOGY ELS 106SAの基板チャックは、低角度の基板を可能にするように設計されています。オプションのアクセサリには、電子ビーム蒸発器、ガス注入蒸着源、光学フォーカシングツール、水晶モニタリングアセットが含まれます。このモデルには、オペレータの安全を確保するための安全インターロック機能も含まれています。ELS 106SAは、研究および産業用アプリケーション向けに設計されており、汎用性の高い製造タスクのためのユーザーフレンドリーで直感的な制御を提供します。これは、複数のパラメータを構成し、機器のパフォーマンスを監視するための高度なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このシステムには分析とロギング機能も含まれており、クライアントはパターンの変更を簡単に追跡し、異常を検出することができます。また、工具の性能を最適に保つための定期点検・試験用のメンテナンス装置を一体化しています。この資産は、堅牢で信頼性が高く、環境および運用上のストレスに耐えるように設計されています。全体として、ELS TECHNOLOGY ELS 106SAマスクアライナーは、高解像度のリソグラフィ用途向けに設計された、正確でユーザーフレンドリーで信頼性の高いモデルです。その高度な機能、堅牢な設計、直感的な制御装置は、半導体デバイスの製造に最適なツールです。