中古 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #9359456 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS 106FA
ID: 9359456
Fully automatic mask aligner.
ELS TECHNOLOGY ELS 106FAは、プリント基板(PCB)や半導体部品などの中高密度エレクトロニクスの自動リソグラフィに最適な4インチマスクアライナーです。優れたマスクアライメント精度、高いスループット、および低コストの所有コストを提供する最先端の製品です。このマスクアライナーは、露光分野での均一な照明と正確なマスク配置で0。55ミクロンまでの解像度を提供する高度なレンズ機器を利用しています。その広い露出範囲と非常に低い歪みにより、フリップチップアセンブリに適しています。ELS TECHNOLOGY ELS-106FAの統合コントローラには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた組み込みPCが含まれています。LANおよびWAN接続を介して、ローカルまたはリモートでプロセス全体を制御および監視します。このコントローラは、サンプルと場所を統合した校正機能を備えており、多言語対応を備えているため、グローバルな運用に適しています。ELS 106FAには、最適なパフォーマンスと効率のためのいくつかの追加機能が付属しています。高度なゾーニング照明技術により、歪みを低減し、精度を向上させ、高密度設計でも高速スループットを実現します。高精度で非常に高速なレチクルアライメントにより、フルバンド精度と大量量産を実現します。その広角テレセントリック光学系は、ワークエンベロープ全体にわたって2µmアライメント精度よりも優れています。ELS-106FAは大量生産に最適で、高度なジョブ管理システムが付属しています。自動化されたサンプル登録と登録のアライメントにより、すべてのウェハに同じマスクが正しく登録されていることを確認できます。高度なジョブエディタは、複雑なマスクアライメント、露出、および堆積ジョブを迅速かつ効率的に設定および管理するのに役立ちます。ELS TECHNOLOGY ELS 106FAは、洗練された真空チャックで設計されており、底面への損傷を最小限に抑えながら優れた保持力を提供します。各種基板や材料、フリップチップアセンブリなどのコンタクトソケットの加工が可能です。露光時間を最適化したELS TECHNOLOGY ELS-106FAは、歩留まりを大幅に改善します。ELS 106FAマスクアライナーは、PCBや半導体部品などの中高密度エレクトロニクスの自動リソグラフィに最適なツールです。高精度なレンズユニット、校正機能を内蔵した直感的なコントローラ、高度なゾーニング技術、フルバンド精度と大量生産のためのジョブ管理機を備えています。その柔軟性とコスト効率により、さまざまなアプリケーションに最適です。
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