中古 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #9052741 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS 106FA
ID: 9052741
Fully automatic mask aligner, 2" - 8" Mask Size: 4" - 9" Lamp House: 250W, 500W, 1KW Wave Length: Broad Band, 365/400/436nm Light Intensity: >20mW / cm2 Based on 365nm (250W); >40mW / cm2 Based on 365nm (500W) Light Intensity Uniformity: < 3% Effective Exposure Area: Max. 150 mm x 150 mm / Max. 200 mm x 200 mm Transportation: Double Arm Robot Exposure Mode: Proximity, Soft, Hard, Vac. Contact Alignment Key: 150 x 150um and smaller Alignment Accuracy: ± 1um L/S Resolution: 1um Based on contact Mode, PR thickness: 1um Running Time: < 28 sec./pc System Control: PC Base Option: Cut Filter, Double Sides Alignment.
ELS TECHNOLOGY ELS 106FAは、マイクロエレクトロニクスおよびフォトニクス製造用の最新のハイエンド自動マスクアライナーです。それはあらゆる研究開発指向の会社、実験室、または大学のための理想的な解決です。ELS TECHNOLOGY ELS-106FAは、最新のリソグラフィ技術を活用し、幅広い用途に高精度なリソグラフィを提供しています。ELS 106FAの主な構成要素は、コントローラ、ステージデッキ、ステージホイール、マスクキャリア、パターンジェネレーター、ウェハハンドラ、ウェハテーブルです。コントローラは、最新のWindows 10 Proソフトウェアパッケージを備えたデスクトップコンピュータで、ELS-106FAのリソグラフィ装置を実行するために設計されています。ステージデッキとステージホイールは、ウェーハとマスクテーブルを互いに正確に移動させます。マスクキャリアはパターンジェネレータを保持しており、希望するリソグラフィパターンを生成します。ウェーハハンドラは、ウェーハテーブルからステージデッキにウェーハを転送します。最後に、ウェーハテーブルは、マスクとウェーハを揃えて固定するプラットフォームです。ELS TECHNOLOGY ELS 106FAは、特許取得済みのスキッピングマスクのアライメント手順を利用しています。この特許技術は、マスクとウェーハを正確に整列させるために必要な時間を短縮するように設計されています。ELS TECHNOLOGY ELS-106FAは、オペレータの介入なしで所望のリソグラフィーパターンを実行できる自動システムです。このユニットはまた、最高レベルの8 µm分解能を備えているため、高精度が要求されるほとんどのアプリケーションに適しています。ELS 106FAは、強力なリソグラフィ機能に加えて、多くのパターン生成技術もサポートしています。これには、カスタム開発されたデザインテンプレートのライブラリを使用するか、ユーザーが提供するマスクにカスタマイズされた設定を適用することが含まれます。さらに、個々のボードの露出を独立して制御することができ、より複雑で高度なリソグラフィ設計を可能にします。ELS-106FAには他にも多くの機能や機能があります。例えば、このツールは、IPC-A-600やIPC-7351を含む業界標準への準拠をサポートしています。また、一度に最大500個の溶融ウェーハのレポートとトレーサビリティもサポートします。さらに、この資産は、さまざまな自動品質保証ツールをサポートしています。結論として、ELS TECHNOLOGY ELS 106FA Automated Mask Alignerは、その性能と機能において比類のないものです。高解像度の自動リソグラフィを提供し、複数のパターン生成技術をサポートし、業界標準をサポートします。これらの機能はすべて、ELS TECHNOLOGY ELS-106FAマイクロエレクトロニクスおよびフォトニクス製造に最適です。
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