中古 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #293830837 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS 106FAは、完全に統合された高度なマスクアライナーで、優れた精度と生産性を実現しています。これは、高度な集積回路処理のための精密フォトマスクのアライメントと製造のために設計されています。ELS TECHNOLOGY ELS-106FAは、高速で正確なアライメントのための高精度の高速高度な機能比較アルゴリズムを備えています。独自のシングルパス機能検出アルゴリズムにより、このマスクアライナーは100µm内の機能を迅速かつ正確に検出および整列でき、スループットの向上と歩留まりの向上を実現します。ELS 106FAマスクアライナーは、高度な光学リソグラフィ技術を使用して、優れた機能検出と精度を実現しています。高精度ステージとクローズドループ光学制御を搭載し、優れた機能登録を実現しています。ELS-106FAはフル機能を備えたシステムで、生産アプリケーションと研究アプリケーションの両方に対応する幅広い高度な機能を備えた使いやすいインターフェイスを提供します。これらの機能には、従来と高密度のパターンの精密なアライメント、広い視野、リアルタイムズーム、迅速なマスクチェンジオーバー、カスタムステッパー設定、その他多くの機能が含まれます。また、ファジィなロジックパターンアライメント、画像安定化、歪み補正など、高度な解像度強化技術を幅広く提供しています。ELS TECHNOLOGY ELS 106FAの優れた光学制御とステージ精度により、フィルムの均一性と線幅制御が向上します。さらに、フーリエ変換認識と特徴比較アルゴリズムを内蔵しているため、複雑なアーキテクチャでも高速なアライメントが可能です。最大スループットを実現するため、ELS TECHNOLOGY ELS-106FAには自動マスクローダーを装備することができ、高速マスク交換を可能にし、フォトマスクの手動処理を排除します。さらに、ELS 106FAは使いやすさと手頃な価格のために設計されています。この機械は堅牢で信頼性が高く、すぐに優れた性能を提供します。また、カラーLCDタッチスクリーン、ツールチェック機能を備え、データストレージとリコールで生産性を向上させるユーザーフレンドリーに設計されています。フィデューシャル認識の一貫性を確保し、資産パフォーマンスを向上させるために、ELS-106FAはパターン参照マーク（PRM）を使用して正確なフィーチャーの整列を行います。このモデルは、マスクと基板のアライメントの両方に複数のタイプのPRMサイズを処理できます。さらに、動的fiducial認識（DFR）機能により、正確なリアルタイム移動フィードバックを可能にし、fiducialsが適切なパラメータ内にとどまることを保証します。ELS TECHNOLOGY ELS 106FAは、優れた精度、均一性、およびスループットを提供し、生産および研究プロジェクトの納期を短縮します。高度な機能比較アルゴリズム、精密な光学制御、フィジカル認識により、このマスクアライナーは高度な集積回路プロセスアプリケーションに最適です。