中古 ELS TECHNOLOGY ELS 104SA #9161432 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS 104SAは、ハードX線光学とソフトX線光学の製造に使用される高度なマスクアライナーです。ELS 104SAは、マスクの前面に形成され、イメージング光学系で露出されたアライメントマークを利用して、マスク位置を光学系に正確に登録します。具体的には、ELS TECHNOLOGY ELS 104SAは、レーザー干渉計と電子画像解析を使用して、数ナノメートルの基板上にマスクを配置します。ELS 104SAは、マスクスピナー、スキャンヘッド、ビームスプリッター、オートステージ、自動検出器など、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。マスクスピナーは、マスクを基板に正確に合わせるために使用される回転モーターです。制御ソフトウェアを通じて、プログラムは正確なXYアライメントを可能にするプレートスピンレートを選択します。さらに、マスクと基板の重ね合わせを手動で調整できるため、アライメントの精度が向上します。ELS TECHNOLOGY ELS 104SAのスキャンヘッドは、パターンサイズ、解像度、スキャン方向を選択することができ、0。02ミクロンの精度と10ナノメートルの解像度を保持できる超安定水晶プレーン・ミラーを内蔵しています。ビームスプリッタは、着信光を2つの別々のビームに分離するプリズムであり、1つのビームはスキャンフィールドサイズを小さくし、マスクまたは基板のエッジでの収差を低減し、スループットを向上させます。ELS 104SAの自動ステージで高精度と安定性を維持し、アライメント精度と再現性を確保します。また、精密なXYステージモーション用のバーニエスケールも含まれています。オートディテクタにより、アライメントマークの自動認識が可能で、高精度で再現性に優れています。それは正確さを高め、手動整列の費用を最小にするために自動段階と連動して働きます。全体として、ELS TECHNOLOGY ELS 104SAは、ハードX線光学とソフトX線光学の両方に対応できるマスクアライナーを求めるユーザーにとって理想的な選択肢です。高精度で再現性の高いアライメント機能を備えたELS 104SAは、医療および産業分野における多くのアプリケーションにおいて信頼性と手頃な価格の選択肢であり続けています。