中古 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9375098 を販売中

ID: 9375098
Mask aligner.
DNS/DAINIPPON MA-4200は、フルフィールドオートマスクアライナーです。この最先端の装置は、その高度な機能性と精度により、半導体産業における生産と研究の両方のニーズに最適なソリューションです。DNS MA-4200は、高度な6インチウェーハ指向ステージと7インチビューを備えており、精度を高めています。ステッピングモータ駆動のX-Yステージを採用し、最大アライメント精度は± 0。25 μ mです。さらに、0。1 μ mの最小増分で高精度なアライメントを実現できます。この装置の他の特徴は、サブミクロンのフォーカシングシステム、調節可能なフォーカスサーボ、および自動レチクルセンタリングサイドスリップ機能を含みます。DAINIPPON MA-4200の先進的な機能は、手助けを必要とせずに、さまざまなチップ設計の便利で自動化されたアライメントを可能にします。たとえば、マルチプロジェクトウェーハ(MPW)機能がサポートされ、柔軟性と生産性が向上します。さらに、完全に自動化されたレチクルロックシステムにより、手動のアライメントが不要になり、マスクオーバーレイエラーが60%削減されます。さらに、自動化されたマスクのローディングとアライメントプロセスは、1時間あたり最大10,000個のウェーハで、非常に高速で迅速かつ正確に実行できます。追加のデジタル機能を備えたMA-4200は、毎秒最大276メガビットの高速アクセスをサポートし、自動監視やアーカイブデータベースストレージ用のパソコンなど、さまざまなデバイスに接続できます。このシステムは、SCSI、 Digital Video Interface、 LAN、およびEthernetネットワークとも互換性があり、必要に応じてリモート操作が可能です。DNS/DAINIPPON MA-4200は、半導体産業のニーズに優れたツールです。その高度な機能と柔軟性、高精度、操作のスピードが組み合わさり、生産および研究プロジェクトに最適なソリューションとなります。
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