中古 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9375091 を販売中

DNS/DAINIPPON MA-4200は、フォトマスクから基板（シリコンウェーハやガラススライドなど）に回路パターンを転送するフォトリソグラフィー工程で使用されるマスクアライナーです。アライナーはフォトマスクの画像を基板に投影し、アライメントセンサーを使用してアライメントを測定します。DNS MA-4200は、直径10。4インチ（263mm）までのマスクサイズ用に設計されており、1000µm領域にわたってサブミクロンのアライメント精度にダウンしています。基板とフォトマスクの両方のアライメントを測定するために2つの干渉計を使用するツールの4象限アライメント技術により、高精度が可能です。この方法は、ウェーハからマスクへの登録を検査するのにも有益です。さらに精度を高めるために、カンチレバーや熱膨張による登録ミスを低減するために最適化されたステージ設計をMA-4200し、機械的振動を最小限に抑え、アライメント領域全体に一貫したアライメントを確保するための防振システムを備えています。メンテナンス面では、MA-4200には2つの独立した真空システムがあり、手動のウェーハ交換の必要性を減らし、シームレスな操作を容易にします。さらに、このツールには、基板内の目的のアライメントセンターを正確に見つけ、1つのボタンを押すだけで登録エラーを補正できる自動アライメントシステム（AAS）が含まれているため、手動校正は必要ありません。フォトマスクの互換性に関しては、バイナリマスク、位相シフトマスク、クロムマスクなど、幅広い種類に対応できます。DNS/DAINIPPON MA-4200は、信頼性と安全性を確保するために、機械的な障害を検出した場合にツールを自動的に停止させる過負荷保護機能など、さまざまな制御機能を備えています。また、空気汚染を検出し、安全な範囲内に保つための空気粒子および電気漏れセンサーを備えています。DNS MA-4200は、高速、正確、正確なフォトリソグラフィ処理用に設計されています。性能、精度、保守性、安全性、互換性を兼ね備えているため、幅広いフォトリソグラフィ用途に最適です。