中古 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9358769 を販売中

DNS/DAINIPPON MA-4200 Mask Alignerは、半導体デバイスの生産のための高度なフォトリソグラフィーマシンです。この先進的な装置は、オートアライナー、高精度の可動ステージ、および5インチ露光領域を備えた高性能オプティクスを備えています。オートアライナーは、ステッパーの視野とウェーハ自体の歪みを測定し、マスクとウェーハの完全な3Dアライメントを可能にします。このシステムは、マスクとウェーハ表面のエアギャップをキャリブレーションし、2つのサーフェスの非常に正確なオーバーラップを実現します。精密ステージは、高精度（+/-0。001mm）の動きを最小限に抑えた沈下と振動を提供し、マスクとウエハのスムーズな操作と精密なアライメントを可能にします。ステージは完全に電動化され、完全に自動化されているため、手動で調整する必要はありません。このユニットには、ステージのx、 y、 z軸を測定する2つのリニアエンコーダも装備されています。また、マスクとウェーハの正確なアライメントを保証する高性能オプティクスを搭載しています。このツールは、以前のマスクアライナーとは異なり、高度なレンズ設計を備えており、優れた焦点深度と高解像度イメージングを提供します。アセットは3つの4X/5Xメガネを使用して、ユーザーに全体的な5X整列倍率を与え、さまざまなアプリケーション要件のためのさまざまな特殊マスクとレンズが含まれています。DNS MA-4200 Mask Alignerは、高精度の半導体デバイスを製造するために設計された高度なフォトリソグラフィーモデルです。高度なオートアライナー、高精度の可動ステージ、および高性能オプティクスにより、正確な回路エッチングのためのマスクとウェーハの正確なアライメントが保証されます。この装置はまた、優れた焦点深度と高解像度イメージングだけでなく、さまざまな半導体用途のための様々な特殊マスクやレンズを提供しています。