中古 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9315610 を販売中

DNSスクリーンDNS/DAINIPPON MA-4200は、微細加工プロセスでフォトリソグラフィに使用されるマスクアライナーです。マイクロエレクトロニクスデバイスの製造と半導体部品の製造のために特別に設計されています。マスクアライナーは、1ミクロンの分解能で基板上のフォトレジストの層のリソグラフィックパターンが可能です。DNS MA-4200は、高強度ハロゲンランプ光源と高度な光学系を使用して、非常に高精度で正確な瞬間的な露出を提供する、完全に自動化されたコンピューター制御露光ツールです。全体的なリソグラフィーシステムは、シンプルさと使いやすさのために設計されており、最小限の技術トレーニングで操作することができます。DAINIPPON MA-4200には、線幅、スペース、アライメント精度、線端シャープネス、クリティカル寸法（CD）コントロールなどのパラメータで修正および調整できるリソグラフィックパターンを生成できるダイナミックパターンジェネレータがあります。このツールを使用すると、2Dおよび3D機能を含む複雑な設計のために幅広いパターンを生成し、基板に転送することができます。MA-4200にはコンピュータ制御の健康モニタリングシステムも含まれており、継続的なプロセス監視が可能です。このシステムは、時間の経過とともにランプと光学性能を監視し、リソグラフィー処理がドリフトのないことを保証します。また、調整精度を定期的に校正するための校正レチクルも備えています。DNS/DAINIPPON MA-4200は、高度な技術とシンプルな操作性を兼ね備えた高速スループットで高性能を提供します。業界最高のオーバーレイ登録精度を提供し、優れたラインエッジシャープネスでサブミクロン分解能パターンを生成できます。DNS MA-4200は、あらゆるレベルのフォトリソグラフィ用途に対応する信頼性の高い効率的なソリューションです。