中古 DNK MA-4201 #9226658 を販売中
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販売された
ID: 9226658
ウェーハサイズ: 2"-4"
ヴィンテージ: 2010
Mask aligner, 2"-4"
Substrate size: Sapphire 274"
Board size: Φ2", Φ6"
Board thickness: 0.625mm, 0.675mm
Mask size: 5"x 5"
Tact time: 25~34 sec/piece
Light source: Super-high pressure 500W lamp
Intensity: 19 mw/cm2 or more (I Line)
Intensity uniformity: <±3%
Effective exposure area: 150 x 150 mm
Throughput: 150~160 pc/Hour
Pre alignment accuracy: <±50um
Alignment form: Pattern match
Mask set: Manual
Mask alignment: Manual
Alignment accuracy:
GA-Lite: ±1um
Pattern matching: ±2um
Resolution:
Hard contact (Vacuum adhsion mode): < 2µm
Proximity 30µm gap: <5µm
2010 vintage.
DNK MA-4201マスクアライナーは、ナノスケールレベルのデバイスの製造のために設計された精密光学マスクアライニングツールです。高精度で高精度なMA-4201により、リソグラフィーで製造された部品の滑らかで欠陥のないエッジを得るのに最適です。独自の設計により、ユーザーは設定を迅速かつ簡単に調整して最適な結果を得ることができ、高密度、低欠陥プロセス開発などのアプリケーションにとって費用対効果の高いオプションとなります。DNK MA-4201は、超高パワーLED(発光ダイオード)照明を使用した精密光学マスクアライナーを備えており、露出面積は最大4 x 2 cmです。これにより、非常に均一な照明が保証され、ユーザーは製造中にマスクを正確かつ正確に整列させることができます。X/Y/Zユニバーサル調整ノブを装備しているため、光学系の調整も簡単です。これにより、アライメントができるだけ簡単になり、高品質の部品を素早く製造することができます。MA-4201マスクのアライナーに25000時間の寿命の長い耐用年数があります。これにより、ユーザーはデバイスに長期的なプロセスを依存できるようになります。システムの光効率は最大90%で、高速かつ高精度な処理が可能です。また、ガラス、シリコン、プラスチックなど様々な基板に適用できる堅牢な設計となっています。DNK MA-4201には、効率を高めるための自動化機能もいくつかあります。パーティクル欠陥を自動検出する内部検査ユニットと、欠陥位置を検出するレーザーセンサーを備えています。さらに、セルフキャリブレーションマシンも備えており、各プロセスの後にアライメント値を再校正し、プロセスが再現可能であることを保証します。MA-4201マスクアライナーは、幅広い精密加工プロセスに適した優れたツールであり、均一なエッジで欠陥のない部品を迅速かつ正確に取得できます。その長い寿命、自動化された機能、堅牢な設計により、このツールは予算のユーザーにとって信頼性が高く経済的な選択肢です。
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