中古 DNK MA-4200 #9258018 を販売中
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DNK MA-4200は、DNK Corporationが開発した革新的なデスクトップマスクアライナーです。このシステムは、マイクロエレクトロニクス業界にとって優れた使いやすさ、柔軟性、信頼性を提供します。中規模生産の実行を支援し、より短いリードタイムでデバイスの製造を可能にするように設計されています。DNK MA4200は、6インチクォーツウェーハステージを提供し、1軸または2軸で最大5。5インチの基板サイズに対応できます。内蔵ステージは、ステップサイズが0。5 µm、再現性が1。0 µmの正確な位置決めが可能です。複数の露出を登録するための完全なX-Yアライメント機能を備えており、困難なパターンを調整することさえできます。また、セラミックス、石英、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなどの様々なウェーハ材料を柔軟に取り扱うことができます。MA 4200には直感的なユーザーインターフェイスがあり、オペレータは既存のレシピや新しいプロセスのレシピを簡単に選択して保存できます。また、最大露光量は500 mJ/cm2で、重大な大量処理用の専用スリットマスクマウンターも備えています。そのさまざまなアラーム機能は、オペレータが生産または品質に影響を与える可能性のある不具合を検出するのに役立ちます。MA4200は信頼性を念頭に置いて設計されており、硫黄と窒素のレベルが低いコンポーネントとシステムを備えています。さらに、最高品質のエンジニアリングを保証するために、システム全体がローカルに構築されています。オペレータは、2Dや3D最適化などの柔軟性変数を利用することもできます。部分的な自動ウェーハのローディング;そして適用の特定の必要性によって自動化された調理法の選択。全体として、DNK MA 4200マスクアライナーは、マスクアライメントのニーズに合わせて信頼性の高い簡単なプラットフォームをユーザーに提供します。様々な用途で優れた精度と柔軟性を発揮し、様々な基板サイズや材料に対応できます。直感的なユーザーインターフェイスにより、レシピを設定してプロセスを保存することが容易になります。MA-4200は、プロトタイプ開発と中規模生産の両方に最適なツールです。
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