中古 DNK MA-4200 #9159261 を販売中

DNK MA-4200は、最大200mmまでのウェーハを使用するために設計された自動マスクアライナーです。マスクポジショナー（MP）とアライメント顕微鏡（AM）を備え、ウェーハ上のさまざまなデバイス構造の正確なアライメントに使用できます。マスクアライナーは、フォトリソグラフィープロセスのマイクロエレクトロニクス業界で一般的に使用されています。マスクポジショナー（MP）は、マスクフレームをウェーハ上に移動するX-Yポジショニングシステムを備えています。マスクフレームを0。1 μ mの解像度でウェーハに自動アライメントすることができます。精密な位置決めのための同期モーターと高解像度エンコーダを備えています。マスクポジショナーは、アライメント顕微鏡を使用してマスクフレームを手動で微調整することもできます。アライメント顕微鏡（AM）は、レーザーダイオードとスプラッシュプルーフビューポートを内蔵した光学顕微鏡です。ウエハ上のマスクフレームをナノメートルレベルの精度で観察および整列させるために使用されます。アライメント顕微鏡の倍率は10倍、解像度は0。2 μ mです。これは、アライメントターゲットの助けを借りて、大面積の基板を整列することができます。DNK MA4200には、カメラの向きをマスクの書き込みなどに向けるためのCOM （Camera Orientation Mechanism）も含まれています。COMは、高性能トルクモーターと洗練されたエンコーダを搭載しており、ウエハ上のカメラの高精度なアライメントが可能です。また、マスクアライナーには高出力ハロゲンイルミネーターを搭載し、広い範囲で均一な照明を発生させることが可能です。マスクの書き込み性能を向上させるための冷却システムを内蔵し、メンテナンス作業を追跡するためのメンテナンスジャーナルを備えています。MA 4200は信頼性が高く効率的なマスクアライナーで、幅広いフォトリソグラフィープロセス工程に適しています。精度、精度、性能の優れた組み合わせを提供し、高品質のマイクロエレクトロニクス製造に最適です。