中古 DNK MA-4200 #9144337 を販売中

DNK MA-4200マスクアライナーは、マイクロ電子デバイスの製造に使用される半自動フォトリソグラフィ装置です。20〜200nmの範囲の機能を持つデバイスの製造に使用できます。マシンはメインフレームとリーダー/ライターの2つの主要部分で構成されています。DNK MA4200メインフレームには、フォトリソグラフィに必要な光学部品と機械部品が収納されています。これは、マスクと基板が上に配置されているベースプレートが含まれています。読者/ライターは、マスクのパターンを解釈し、基板に書き込む電子制御システムです。機械に高精度の製作を達成するのを助ける複数の調節可能な特徴があります。ステッピングモータは、X軸とY軸に沿った顕微鏡の調整を可能にし、合計4度の自由度を実現します。マスクステージは5つの連続した増分で移動でき、5度の増分で回転することもできます。読者/作家は露出のための紫外レーザーおよび基質にフォトレジストを集中するための6つの地帯の段階を使用します。製作ジョブがMA 4200にロードされると、マスクはまずX、 Y、回転ステージを使用して基板と整列します。その後、マスクと基板で一連のスキャンが開始されます。各スキャンは、基板にパターンを書き込むためにいくつかのパスとレーザスケールを取ります。各スキャンの長さは、必要な解像度と精度によって異なります。パターンが基板に書き込まれると、MA-4200は自動的に開発サイクルを持ちます。このステップは、プロセスの他の部分よりも精度が必要であり、基板の一部を選択するためにフォトレジストの薄い層を適用するように設計されています。全体として、DNK MA 4200マスクアライナーは、高精度の微細加工に不可欠な汎用性の高い自己完結型ツールです。20ナノメートルという小さな機能を再現可能な結果で正確に生成できるため、将来の電子機器の複雑な設計に最適です。