中古 DNK MA-4200 #293797494 を販売中

DNK MA-4200 Mask Alignerは、大規模集積回路（LSI）のエレクトロリソグラフィ製造のための洗練された高精度なツールです。ウェーハステッパーやマスクライターに使用するために特別に設計された、完全に自動化されたコンピューター制御の露出ユニットです。DNK MA4200マスクアライナーには、高度なマスクパターンプロセッサと非常に高性能な光学アライメント装置が装備されており、マスクを基板に正確かつ再現可能にアライメントできます。また、個々のレイヤーを自動的にインデックス化し、すべてのレベルの集積回路レイヤーで高解像度のアライメントを実現することもできます。MA 4200マスクアライナーは、ユーザーが生産性と品質を最大化するための多くの機能を提供しています。抵抗タッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えているため、経験の浅いユーザーにも簡単にアクセスできます。ユーザーインターフェイスには、高度なズームとパンニング機能を備えた高精度のアライメントシステムも含まれており、アライメントパラメータを微調整できます。また、露出前のマスクデータを徹底的にチェックすることで、マスクパターンの精度や誤差を把握することができます。露光プロセスでは、マスクパターンデータを使用して、レーザービームを基板の表面に非常に正確なスポットで誘導します。これにより、10ミクロンから1ミクロンの分解能で表面に微小回路を作ることができます。露光プロセスの精度は、0。1ミクロン単位で基板を正確に移動させることができるデュアル圧電ステージを使用することでさらに高められます。MA-4200マスクアライナーは、波長248nmのレーザー光とパルス当たり最大480mJのパワーを使用して動作します。露光時間は0。2秒と低く、最高温度40°Cで動作できます。MA4200は、現在のすべての安全基準に準拠しており、追加の安全のために自動消火ユニットが装備されています。DNK MA 4200マスクアライナーは優れた性能を提供するだけでなく、再アライメントを必要とせずに異なる基板を使用する柔軟性を提供します。このユニットにはノズル交換機が付属しており、さまざまな基板を数秒で配置して自動的に交換することができます。最終的に、DNK MA-4200が提供する精密で自動化された製造プロセスは、現在利用可能な最も先進的で費用対効果の高いマスクアライナーの1つです。