中古 DNK MA-4200 #293778963 を販売中

DNK MA-4200は、DNK株式会社の精密マスクアライナーです。高度な技術により、正確なアライメント精度とミクロン精度でウェーハをパターン化する能力を提供します。この装置は、半導体デバイスおよび回路製造用のナノメートルスケールの層転写マスクを製造するために特別に設計されています。DNK MA4200には、ウェーハの配置とアライメントのための6インチ水平、5インチ垂直XYステージがあります。1000X倍率は2Xで、広い視野を持つ高倍率ステレオスコープを使用してアライメント精度を向上させます。このシステムには、CADパターンを整列およびパターン化するための強力なビジョンユニットもあります。MA 4200は、絶縁シリコン（SOI）、光ベースの集積回路、MEMS、および同様のプロセスなど、少量のナノテク用途に対応しています。超微細なオーバーレイアライメントとファインラインリソグラフィが可能です。ビーム電流300uAの10kVで、5 µm未満の解像度で効果的にパターン化および転送することができます。DNK MA 4200の主な特徴は、7 インチLCD TFTディスプレイ、ウェーハのアライメントを高速化する自動アライメントマシン、正確なウェーハアライメントのための4軸モーター、および人間工学に基づいて設計されたハンドリングツールです。手動および自動レシピ、ウェーハムーブメントのリアルタイムマウス制御、さまざまなプロセスステップのパラメータ最適化、および。lps、 。csv、および。infファイル形式をサポートするソフトウェアを提供します。MA4200は、現代の集積回路のアライメントとパターニングのための優れたツールです。アセットの正確なアライメント精度、高解像度パターニング、インターフェイス機能により、チップ製造の生産性と柔軟性が向上します。