中古 COBILT CA 800 #69878 を販売中

COBILT CA 800マスクアライナーは、半導体デバイスの製造におけるフォトリソグラフィープロセスに使用されるデバイスです。このデバイスは、高出力のUVランプを使用して、基材にエッチングされた正確なパターンを投影します。CA 800デバイスの主なコンポーネントには、アライメント顕微鏡、ステージ、写真感受性マスク、キャステレーテッドマスクホルダー、エキシマレーザーがあります。アライメント顕微鏡を使用して、カメラをマスクと基板と整列させ、マスクの回転またはずれによる歪みを特定します。精度を確保するために、センサーシステムを使用して、アライメントプロセス中のエラーを補正します。COBILT CA 800で使用されるUVランプは、正確なパターンを正確に投影するためにマスクに向けられた強力な紫外線を生成することができます。castellatedマスクのホールダーはフォトリソグラフィのプロセスの間にマスクを安定した保つのを助けますエキシマーレーザーがフォトリソグラフィのプロセスの安定性をきれいにし、改善するのに使用されています。マスクをマスクホルダーに取り付けると、ステージがマスクの上に基板を移動させ、紫外線を使用してパターンを材料にエッチングします。UV光の速度は、単位時間ごとにエッチングされるフィーチャーの数を増減させるために調整することができます。この特徴は小さい特徴サイズを製造するとき高い生産率そして精密を可能にします。CA 800システムは、高解像度と調整可能なパラメータの範囲と正確なアライメントを提供します。このシステムは、最も要求の厳しいウェーハ製造アプリケーションに適しており、自動化された機能により、使いやすく費用対効果が高くなります。また、複数の基板を連続して加工することも可能で、量産に適しています。