中古 COBILT CA 800 #102000 を販売中

COBILT CA 800マスクアライナーは、特にフォトリソグラフィ用途において、高解像度デバイスの製造において重要なツールです。精細な解像度と高い再現性を兼ね備えた汎用性の高い自動化された装置です。CA 800システムは、高いアライメント精度を提供するように設計されています。その設計は2-10 μ mの正確さおよび0。25 μ mまでの解像度で5 μ mのステップサイズの選択のフルフィールドデジタルイメージングユニットを使用します。これにより、高解像度のアライメントと複雑なデバイスの転送が可能になります。このマシンには、最大12ボルトのバイアスを提供できる2または4ゾーンのバイアス源も付属しています。これにより、マスクを取り外した後でもフォトレジスト層が適切に整列したままになります。COBILT CA 800には、完全に自動化されたアライメントツールが装備されています。2Dパターン認識機能とクローズドループのアライメントコントロールアセットを使用して、デバイスがマスクを除去する前に適切に配置されていることを確認します。マスキングプロセスは、レイヤ時間、線量、および温度のプログラム可能な変化によって完全に自動化できます。このモデルには、パッチャーユニット、層の厚さを測定および監視するためのデバイス、クローズドループ制御アクチュエータ、および電動ワークテーブルも含まれています。電動ワークテーブルは、最高解像度の様々な距離に設定することができます。CA 800は、小型で複雑なデバイスを製造するための貴重なツールです。高精度で再現性に優れ、フォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。その自動化された機能は、小型デバイスの準備のための便利で効率的な機器になります。