中古 COBILT CA 400 #10357 を販売中

COBILT CA 400マスクアライナーは、ウェハーマスク基板の製造用に設計された高度なフォトリソグラフィ露光装置です。CA 400は、精密集積回路（IC）デバイス用のファインフィーチャーマスクを高速で正確かつ効率的に製造する方法です。アライナーのマスク作成能力は、さまざまなタイプのデバイス製造の生産時間をより大きく制御することができます。COBILT CA 400は、高解像度プリントヘッドとパターンエディタを組み合わせて、マスク作成用の精密なファインパターン基板を作成します。アライナーは、標準的なウェーハ基板の複数のサイズを受け入れることができ、印刷パターンの位置精度は、非常に精密なクアトロコントローラを備えた座標測定システム（CMS）によって保証されます。CA 400は露出精度に優れており、露出レベルはIC業界の設計基準および写真リソグラフィ基準に準拠しています。マスク補完モジュールにより露出精度がさらに向上し、複数のマスクを1回の露出で補完することができます。このモジュールは独自の専用ソフトウェアを使用して動作し、マスクパターン認識や基板準備などのタスクでCOBILT CA 400を支援します。CA 400には、ウエハが勝つ前に操作状況を確認できる出力モニターなどの機能も搭載されています。フィードバックは、ウェーハが正しく露出され、きれいになっていることを確認するのに役立ちます。COBILT CA 400は、高度なダイヤフラムシステムを採用し、マスク表面全体に均一な光の分布を実現しています。その結果、迅速な露光時間でファインパターンマッチングを実現できます。アライナーに使用される高感度のサーマルプレートは、一貫した正確なマスクアライメントを提供し、マスクを適切に加工するのに役立ちます。CA 400の自動マスク配置や重ね合わせパターン登録などの強力な機能は、このような製品では通常見られないレベルの効率を達成するのに役立ちます。COBILT CA 400は、ICデバイス設計者の設計要件に適合したマスクを作成しながら、マスク作成プロセスを迅速に完了し、プロセスに関与する手作業の量を削減することができます。CA 400の高度な機能に加えて、このデバイスは最小限のコストと最小限のメンテナンスを誇っています。コスト効率とメンテナンス要件が低いため、中小企業やスタートアップはアライナーを使用することに興味を持っている可能性が高くなります。これにより、マスク補完機能やサーマルプレート機能などの高度な機能を備えたCOBILT CA 400は、現代のマスク製造ニーズにとって魅力的な選択肢となります。