中古 CANON Wafer conversion kits for PLA 501 #9160415 を販売中

CANON PLA 501用ウェーハ変換キットは、マスクアライナーの柔軟性を高めるために使用されるツールです。マスクアライナーは、10nm以下の特徴サイズのチップ表面にナノ構造を作成するために使用される機械です。マスクアライナーは、リソグラフィープロセス中に使用されるさまざまなマスクの正確なアライメントを可能にするさまざまなコンポーネントとメカニズムで構成されています。マスクアライナーを使用してサイズ、ピッチ、厚さの異なるウェーハを加工する場合には、ウェーハコンバージョンキットを使用する必要があります。各コンバージョンキットは、特定のタイプのウェーハ用に設計されています。PLA 501用ウェーハ変換キットには、ウェーハ処理用のさまざまな交換可能な部品が含まれています。このキットには、マスクアライナーの本体に取り付けられたチャックホルダーが含まれています。チャックホルダーは、露出プロセス中に基板を敷設するさまざまなタイプのチャックを保持しています。チャックにはさまざまな形状とサイズがあり、さまざまな種類のウェーハに対応しています。さらに、このキットには4ポジションチャックローダーが含まれており、マスクアライナーに挿入されたときにウェーハを固定するために使用されます。ウェーハ変換キットには、アライメント中に基板を正確かつ正確に配置するために使用される電動ウェーハ変位装置も付属しています。このキットにはダイアフラムシールも含まれており、水分がマスク整列機に浸透するのを防ぎ、ウェーハが正確かつ正確に露出するようにします。最後に、このキットには、マスクを正しい位置に整列させるのに役立つウェハーマスクスタッカーが含まれています。このスタッカーを使用してマスクを正確に揃え、希望するパターンをウェーハに正確にエッチングできます。全体として、PLA 501用のCANONウェーハ変換キットは、マスクアライナーユーザーがさまざまなサイズ、ピッチ、厚さのウェーハを処理するための効率的で正確な方法を提供します。キットのさまざまなコンポーネントにより、マスクアライナーはマスクを正確に整列させ、ウェーハを所望のパターンで正確に露出させることができます。