中古 CANON PLA #9244761 を販売中

CANON PLA （Parallel Layer Aligner）は、ウェーハステッパー/スキャナベースのリソグラフィ用に設計されたマスクアライナーです。ステッパー対応のプログラマブルレーザーアライメント装置で、異なるレイヤーのレイヤー間を測定および整列する光学機能とソフトウェア機能を組み合わせることで、オーバーレイアライメント機能を自動化できます。PLAは、レーザーアライメント技術と高解像度光学顕微鏡を使用して、2つの層の相対アライメントを正確に測定します。レーザーアライメントは、各層の画像を反射するレーザーとシリコンウェーハを使用することで実現されます。2つの層の配置が正確であると判断されると、結果としてリソグラフィーレシピに書き込まれます。オーバーレイテストウェーハから撮影した1枚の画像からパターンを認識し、参照データセットと比較します。それはサブミクロンの正確さに2つの層の相対的な直線を測定できます。CANON PLAには強力な画像処理アルゴリズムが搭載されており、複数の画像を必要とせずに複数のレイヤーの位置決めを簡素化・高速化します。このユニットには、アライメント検証ツール、パターンマッチングツール、エッジ検出ツールなど、多数のツールが組み込まれています。PLAは、セットアップ時間を短縮し、生産に必要な露出数を最小限に抑えるように設計されています。その力はプログラム可能なレーザー機械の柔軟性と結合され、ユーザーが整列プロセスのすべての変数を制御することを可能にします。また、高度に自動化されているため、複数のレイヤーを正確かつ再現可能にアライメントできます。全体として、キヤノンPLAは非常に信頼性の高い有用なリソグラフィーツールであり、優れた精度と高速スループット生産を実現する可能性を提供します。光学機能とソフトウェア機能を組み合わせることで、あらゆる本番環境に貴重な付加価値をもたらします。