中古 CANON PLA 600F #9397141 を販売中

CANON PLA 600Fは、高精度フォトリソグラフィ用に設計された最先端のマスクアライナーです。このツールは、材料の層を均一かつ反復可能な方法で基板に正確に堆積するのに役立ちます。半導体、LED、 MEMS、バイオ医薬品など幅広いフォトリソグラフィ用途に適しています。キヤノンPLA600F装置は、マスクと光源に基板を正確に合わせるために、機械的なセンタリングを使用しています。高さは+/-1mm、 XY位置決め精度は± 0。6 μ mです。数µmのXY誤差範囲を持つ高精度の機械式移動段階を利用しています。また、高性能な光学レンズを搭載し、最大1µm分解能で正確なアライメントが可能です。このユニットは、さまざまなユーザーフレンドリーなソフトウェアコントロールスクリーンで簡単に操作できます。メニューは、簡単なユーザーエクスペリエンスを提供するように設計されています。利用できる3つの露出モードがあります；正常な、柔らかい接触および速い露出。さらに、このマシンには最大9つのサンプルパラメータが保存され、簡単にデータリコールできます。整列したマスクは、適切な露光時間と波長を使用して機械の水銀ランプで露出されます。ランプは常に一貫した光強度を確保するために安定しています。このツールには、OPC（光学近接補正）プロセッサも内蔵しています。このアセットは、ユーザーのプロセス要件に基づいて最適な露出設定を提供することができます。PLA-600Fマスクアライナーは、効率的で信頼性の高いツールであり、ユーザーは高精度で繰り返し可能なフォトリソグラフィの結果を何度も何度も取得できます。それは使いやすいインターフェイス、正確な機械中心、強力な光学レンズ、高性能の水銀ランプおよび作り付けのOPCの訂正を提供します。これにより、CANON PLA 600 Fはさまざまなフォトリソグラフィ要件に最適な選択肢となります。