中古 CANON PLA 600F #9382829 を販売中

CANON PLA 600Fは、キヤノングループの部門であるキヤノンセミコンダクター・エキスパートが開発したマスクアライナーです。CANON PLA600Fは、半導体デバイスのフォトリソグラフィ製造に使用されるフォトマスクや光学リソグラフィープロセスの迅速かつ正確なアライメントのために設計されています。高性能レーザー測位装置と内蔵リファレンスレンズを使用することで、マスク画像の高解像度を正確に揃えることができます。複数のレイヤーを高精度に整列させる機能により、マスクまたはウェーハ上の画像の正確な位置決めが保証されます。これは、欠陥を最小限に抑えた高品質のデバイスを作成するのに役立ちます。マスクアライナーには、さまざまなマスクサイズや形状に対応できる絞りプレートも備えています。これにより、画像領域の位置が変更されたときのマスクの最適な配置が保証されます。レンズの開きの版は調節可能で、異なった深さの設定に調節することができます。PLA-600Fは、精密な画像解析システムを誇り、欠陥の最小化と層厚の正確な測定が可能です。単位の統合された測定ソフトウェアによって、マスクまたはウエハアライメントの正確さは監視され、調節され、高いレベルの均一性を保障します。ソフトウェアはまた、マスクの位置を監視することができ、必要に応じて調整することができます。マスクアライナーは、マスクデザインや解析ソフトウェアなど、キヤノンの多くの技術と互換性があります。これにより、ユーザーはカスタムマスクを作成し、画像分析プロセスを最適化することができます。このマシンは、温度や電源などの主要な動作パラメータを監視する自動セルフチェックポイントも備えています。これにより、機能していない部品に関連するコストのかかるエラーを低減できます。ソフトウェアはまた、画像アライメント条件とともに、デバイス上の情報を記録し、情報を簡単に確認し、正確さを確保するのに役立ちます。安全面では、マスクアライナーは内蔵の安全ツールで事前にプログラムされています。これにより、ユーザーの動作環境に基づいて最大レーザー出力が制限され、オペレータの安全性が確保されます。