中古 CANON PLA 600F #293830592 を販売中

CANON PLA 600Fは、さまざまな半導体およびマイクロエレクトロニクスチップ製造プロセスに使用されるマスクアライナー機です。この機械は垂直整列装置として設計されており、基板はステージに取り付けられ、マスクまたはレチクルに関連して垂直に移動されます。最大直径6インチのウェーハを処理でき、1ウェーハあたり30 ~ 60分の典型的な処理時間が得られます。CANON PLA600Fは、露出したプラテンを持ち、低エネルギー散乱プレアライナーシステムを搭載しています。このユニットは、マスクを基板と正確に整列させ、最大3µmまでの整列を誤っています。また、アライメント中の潜在的な損傷から基板を保護し、クリーンでデブリのない作業環境を維持するように設計されています。PLA-600Fには2軸スキャン機があり、幅広いプロセスに対応するために、さまざまなモードで動作することができます。スキャン方向、スキャン速度、露出強度は、異なるプロセスパラメータに対応するように調整できます。このマシンには自動露出ツールも装備されており、さまざまな画像サイズでプロセスの均一性と精度を保証するための正確な露出制御が可能です。照明光学において、キヤノンPLA-600Fは、顕微鏡の目的、マクロの目的、フィールドの目的を選択して、レンズの範囲を収容することができます。このレンズの幅広い選択により、異なるサイズと形状の基板を正確に揃えることができます。また、キヤノンセンサーアレイモデルは、高度な照明均一性制御のために組み込まれています。この装置は限界照明および基質の露出時間の均等性を制御するために働くことができます。また、CANON PLA-600 Fには、加工中も基板をしっかりと固定するCLASS-SEV真空システムが搭載されています。このユニットはまた、クリーンでデブリのない真空環境を確保します。マシンのステージも非常に使いやすく、シンプルで直感的なユーザーインターフェイスで調整できます。要するに、PLA-600 Fはさまざまなプロセスを処理することができる多目的で正確なMask Alignerマシンです。レンズ、センサアレイマシン、CLASS-SEVバキュームツールを幅広く装備しており、正確なアライメント、照明の均一性、清潔さを保証します。使いやすいユーザーインターフェイスにより、このマシンは使いやすく、スムーズで効率的な生産を保証します。