中古 CANON PLA 600F #293758565 を販売中
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CANON PLA 600Fは、光源技術を利用してシリコン基板など複数の材料にフォトレジストを露出させるフォトリソグラフィ用のコンピュータ制御マスクアライナー(フォトマスクアライナー)です。これは、材料の複数の層で複雑で精密なパターンを作成するためです。フォトリソグラフィーの技術を使用することにより、マスクアライナーは、ラインや穴のサイズなどのパターンを、サブミクロンレベルまで、高精度で非常に小さな公差のある材料に適用することができます。精度と速度を兼ね備えているため、様々な電子部品や光学部品、ディスプレイ、MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)などの複雑なマイクロシステムの製造に最適です。CANON PLA600Fの主な構成要素は、レーザー、パターンジェネレータ、数値制御(NC)装置です。レーザーを使用してフォトリソグラフィックパターンを生成し、パターン発生器に送られて所望のパターンを生成します。通常は高精度です。NCシステムは、フォトリソグラフィック露光中に最高レベルの精度を得るために、レーザーがマスクホルダーに正確にアライメントされることを保証します。また、PLA-600FにはウェーハステージとX-Yステージがあり、マスクが材料に適切に揃っていること、および適切な材料サイズが所望のパターンを生成するために使用されることを確認するのに役立ちます。また、真空ユニットと露出調整器を備えており、精度をさらに向上させます。最後に、このマシンにはユーザーフレンドリーなインターフェイスとディスプレイ用の内蔵コンピュータが装備されています。これにより、ユーザーはプロセスパラメータを設定して維持し、便利にツールを操作することができます。結論として、PLA 600Fは、フォトリソグラフィのための非常に正確で効率的でユーザーフレンドリーなツールです。高精度で高精度なパターンを生成することができ、複雑なマイクロシステムだけでなく、様々な電子部品の生産を可能にします。この資産は、非常に詳細で複雑なマイクロコンポーネントを効率的かつ正確に生産しようとしている企業にとって理想的です。
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