中古 CANON PLA 600 #293660393 を販売中

CANON PLA 600は、半導体産業の光学近接補正用に設計されたマスクアライナーです。これは完全に自動化された高精度のツールで、従来のリソグラフィ機器に比類のないレベルの再現性を備えた高速で正確なマスクアライメントを可能にします。PLA 600は、マスクアライメントに高解像度の制御と精度を提供するリニアムーブメントドライブシステムを使用しています。アライメント精度はXYモードで0。12 µm （6sigma）、角度モードで0。20 µm （6sigma）です。これにより、フォトマスク上に形成されたパターンがレチクル上のパターンと正確に一致して、望ましい光学近接補正を実現します。CANON PLA 600には強力なソフトウェアパッケージが付属しており、マスクアライメントプロセスを完全に自動化し、プロセスを正確に制御するための高度な機能を提供します。このソフトウェアは、さまざまなパターンをサポートしており、露光時間、フォーカス位置などのプロセスパラメータを最適化してマスクのアライメントを最適化するために使用できます。また、PLA 600には高精度で自動化された位置決めシステムが搭載されているため、手作業での位置合わせにかかる時間のほんの一部を正確に調整できます。これにより、フォトマスクのパターンが最小限の人間の入力と正確に整列することができます。最後に、CANON PLA 600は長寿命であり、長期間の生産に最適です。このツールは、最新の半導体製造プロセスの厳しい公差と基準を満たすように設計されており、問題なく最大10年間連続使用できるように設計されています。これにより、半導体マスクアライメントの信頼性と費用対効果に優れた選択肢となります。