中古 CANON PLA 600 #293655815 を販売中

CANON PLA 600は、半導体業界のウェーハ製造に使用されるマスクアライナーです。この機械は光学の下でフォトマスクおよびウェーハの位置、整列および露出のために設計されています。バイナリマスクと減衰位相シフトマスク（PSM）の両方での使用に適しています。このデバイスは、アダプティブステッパー、圧力制御露光プラットフォーム、およびサーボ制御のZ軸ステージで構成されています。PLA 600は可動ステッパーを備えており、光学露光、蒸着、リソグラフィ、エッチングなどのさまざまな微細加工プロセスに対応しています。さらに、このデバイスは最大1024個のスキャンした画像を保存できます。CANON PLA 600の圧力制御露出プラットフォームは、露出プロセス全体にわたって均一な圧力制御を可能にし、マスカーとウェーハの正確な位置決めを保証します。圧力調節機能は均一な露出の端を保障します。PLA 600のZ軸段は、マスカーとウェーハを最適な露出位置に移動するように設計されています。ステージは、マスカーとウェーハを正確に揃えるように設計されており、露出される画像の優れた登録を提供します。ステージはまた、ウェーハのターゲット表面に露出を確保するために正確にマスカーとウェーハを移動するように設計されています。CANON PLA 600は、システムモニター、設定調整、画像表示、その他様々な機能を搭載したグラフィカルユーザーインターフェースで動作します。また、セルフアライメントシステム、緊急停止ボタン、物理的な怪我を防ぐ保護カバーなど、多くの安全機能を備えています。PLA 600は、微細加工プロセスの精度と効率を高めるために、マスカーとウェーハを正確に配置して調整することができます。このデバイスは信頼性が高く、使いやすく、ウェーハ全体に正確で均一な露出を提供します。時間の節約と生産性の向上は、魅力的な投資収益率を提供します。