中古 CANON PLA 600 #293594861 を販売中

CANON PLA 600は、フォトリソグラフィ用途向けに設計されたマスクアライナーです。包括的な機能と統合ツールを備えたウェーハ処理用の半自動プラットフォームです。高精度なパターンの位置決めとアライメント、ウェーハ分析用の統合顕微鏡、最先端の照明およびプログラマブルフィルターシステムなどが特徴です。アライナーの半自動操作により、手動処理と自動処理の両方に適しています。機械の詳細な統合は、サンプルのロードから始まり、処理されたウェーハのアンロードで終了するプロセスの完全なサイクルを保証します。サイクルの途中には、プリアライメント、露出、データ分析、ポストアライメント、アンロードなど、さまざまなプロセスがあります。このマシンは、1時間あたり最大100ウェーハの速度でさまざまなタスクを実行できます。マスクアライナーの中心には、高度なリアルタイム画像処理システムによってサポートされる最適化された光学機器があります。標準のリソグラフィーマスク、干渉タイプ、バイナリ、コンタクト、レーザーマスクなど、さまざまなフォトマスクに対応できる汎用性の高いユニットです。機械はまた、それが小さな機能の検出に関連する複雑さに対処することができるバイナリリソグラフィーアプリケーションで使用することができます。PLA 600は、操作とメンテナンスの容易さ、高精度、ピーク性能、手頃な投資コストなど、多くの利点をユーザーに提供します。主な特徴の1つは、マスクパターン認識のための高度なアルゴリズムのライブラリを使用する革新的なマスクパターン認識マシンです。この重要な機能により、優れたパターンマッチング機能を備えたアライメント処理が簡素化されます。高度な機能セットには、高感度光源とデジタルプロジェクションツールも含まれています。これらの部品は優れた感度と解像度を提供し、高品質の微細構造を作ることができます。さらに、このマシンには、露出線量や露出数などの特定のパラメータを制御するためのインターフェイスが用意されています。また、高度なパターン生成のためのレーザーソースを備えています。最後に、CANON PLA 600は、環境が安全に使用でき、機械が正しく動作していることを保証するさまざまな安全機能を提供します。これらには、自動インターロック資産、空気浄化モデル、および自動診断が含まれます。機械は他の周辺機器と統合して、完全なリソグラフィ加工装置を形成することができます。