中古 CANON PLA 600 FA #9407646 を販売中

CANON PLA 600 FAは、半導体製造などの関連産業で使用されているトップオブラインのマスクアライナーです。光アライメントの助けを借りて、それは1µmまでの精度率を達成することを可能にします。これは、非常に正確である必要があるプロジェクトに最適であることを意味します。自動フォトアライメントシステムは、センサーヘッド、アライメントステージ、コントロールボードで構成されています。センサーヘッドは基板からの画像を処理し、コントロールボードに送信します。制御ボードは、フォトマスクが基板上に完全に揃うように、アライメントステージの位置を計算および調整する責任があります。さらに、画像処理システムは高速12メガピクセルCCDカメラで構成されており、デジタルイメージのキネマティック補償アルゴリズムと連携して高精度と再現性を実現しています。これは、異なる基板サイズで作業しても、プロセスの精度を高めるのに役立ちます。また、スピンドルの傾きや基板の傾きを調整して、フォトマスクの基板へのアライメントを最適化することも可能です。CANON PLA-600FAは、直感的な制御ソフトウェアによってさらにサポートされており、ユーザーはフォトマスクを指定された場所に快適かつ正確に移動することができます。また、無限のパターン認識領域を備えており、単一のフォトマスク上のすべてのパターンを認識することができます。これに加えて、パターンマッチング精度も0.2µmまであり、詳細な電子ドキュメンテーションシステムにより、将来の参照のためにデータを簡単にアーカイブすることができます。ユーザーに最高の体験を提供するために、PLA 600FAには、基板漏れと保護のための超高真空ポンプ、セキュリティのための汚染に準拠したケーブル接続、および事前アライメントとマスク洗浄機能などの追加機能が付属しています。これらを組み合わせることで強力なマスクアライナーを形成し、幅広い生産要件に精度と精度を提供します。