中古 CANON PLA 600 FA #9393290 を販売中

CANON PLA 600 FAは、さまざまなフォトリソグラフィ用途で使用できる精密マスクアライナーです。高精度、高解像度、信頼性の高いマスクアラインメントを±5µm視野で実現し、精密アプリケーションに最適です。マスクアライナーは、電子ビームリソグラフィー（EBL）システムを使用して、最高の解像度の結果を達成し、ベースフレームとスキャンヘッド、取り付けられたラインファインチューナー、マスク交換機構を備えています。CANON PLA-600FAは、電子ビームパターンの焦点とサイズを簡単に変更できる特長を備えており、さまざまな機能や寸法が必要なアプリケーションに最適です。この機能により、動作速度も向上します。また、マスクアライナーは、エネルギー効率が高いため低コストの動作を提供し、ミスアライメントエラーを防ぐ統合安全システムが付属しています。PLA 600FAの最大ダウンロード速度は45mm/sec、最大マスク表面積は500mm x 500mmです。その組み込みの露出範囲は0.3µmから5 μ mまで。最大開口数は0。078で、最大解像度は125nmです。マスクアライナーは、0。01秒から5,000秒の露出時間範囲を備えた調節可能なマルチステップスキャンヘッドも備えています。CANON PLA 600FAは、使いやすいタッチディスプレイと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、セットアップと操作が簡単に行えるように設計されています。このシステムには、2つのビンカセットのローディング機能も含まれており、手動で移動することなく、異なるマスクを簡単にローダーすることができます。高速起動、高精度、および拡張スキャンヘッドレンジを備えたPLA-600FAは、正確な結果を必要とするフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なツールです。