中古 CANON PLA 600 FA #9309547 を販売中

CANON PLA 600 FAは、基板上の複数の層を正確かつ正確にアライメントするマスクアライナーで、微細で小規模なパターンを作成できます。この装置は、レーザー真空露光技術を使用して、最大8½ 「x 11」のマスクを迅速に処理します。キヤノンPLA-600FAは、真空チャンバーとビルトインビジョンシステムの2つの主要コンポーネントで構成されています。真空チャンバーは、複数のマスクを同時に露出させるように設計されています。6枚のステンレス鋼板を通して、基板上のマスクをしっかりと固定して正確に整列させるための真空力を作り出すことができます。内蔵のビジョンユニットを使用することで、各レイヤーの位置と露出レベルを10ミクロンの高解像度で正確に制御できます。また、生産効率を向上させるために最大200台のセットアップを保存できます。また、PLA 600FAは優れた画像保持機能を備えているため、再現性に優れ、最大1ミクロンのパターンサイズを実現できます。さらに、このツールは、スプレー洗浄、空気洗浄、スピンリンス洗浄など、いくつかのウェーハ洗浄機能を備えた自動洗浄アセットを提供します。CANON PLA 600FAは、高度な機能を備え、ファインラインリソグラフィやファインラインパターニングなどの先進的なICデバイスの製造に使用するように設計されています。その柔軟性と精度のおかげで、モデルは多層加工を必要とするあらゆる種類の接着剤の接着や基板に適しています。装置には、ユーザーがチャンバー内のレーザーにアクセスするのを防ぐための安全シャッターガードを含む、ユーザーを保護するためのさまざまな安全機能が装備されています。全体的PLA-600FAは、精度と精度の高い微細なパターンや複雑な小規模パターンの製造に最適な高度なリソグラフィーシステムです。その高度な機能に加えて、ユニットは、最大のユーザー保護と生産効率の向上のための安全機能の配列を提供しています。