中古 CANON PLA 600 FA #9226487 を販売中

CANON PLA 600 FAは、半導体リソグラフィープロセスに使用されるマスクアライナーです。フォトマスクテンプレートから基板表面にパターンを転送するために使用されます。レーザー光源の紫外線を利用して、基板上のパターンを転送する前に、フォトマスクと基板を正確に揃えます。この装置は、基板幅が600mm、最大基板径が450mmの比較的大きなワーキングエリアを備えています。0。1ミクロンの分解能と0。5ミクロンのZ再現性で高精度な高さ調整を実現しています。また、ウェーハインデックスシステムとオートフォーカス機能を搭載しており、フォトマスクと基板の正確なアライメントが可能です。CANON PLA-600FAは、リアルタイム・高速制御の観点から、必要なパターンを特定するために大型サンプルを上から下にスキャンできる自動パターン検索システムを備えています。このシステムにより、大規模なオンチップデバイスまたは大面積グリッドのパターン検索時間を短縮できます。その他の機能には、自動露出タイマーと改良された光プロジェクションモジュールがあり、より一貫した信頼性の高い結果を得ることができます。安全性能の面では、PLA 600FAは防塵および帯電防止対策の面で現在のすべての業界基準を満たしています。それはまた手動および自動操作モードが装備されている容易な維持および容易な操作のために設計されています。全体として、PLA-600FAは半導体業界のリソグラフィープロセスに適しており、正確で信頼性の高い結果を安全かつ効率的に提供します。広い作業エリア、高精度高度調整、高速リアルタイム制御、多数の安全機能を備え、多様なリソグラフィープロセスに使用できる汎用性と信頼性の高い機器です。