中古 CANON PLA 600 FA #9152979 を販売中

CANON PLA 600 FAは、ウェハレベルのフォトリソグラフィに最適なマスクアライナーです。MEMS、ナノ電子デバイス、オプトエレクトロニクスなどの分野で、高収率でパターンや構造を迅速に製造するのに役立ちます。この機械は0。14 milsの最低の特徴のサイズの24 milsまで長方形のイメージのステッチを提供します。TTLレーザダイオードビーム、X-Yインデクサによるウェーハ位置決め、4軸回転+ウェーハ上のパターンの集中度測定が可能なクリティカルアライメントを備えています。CANON PLA-600FAは24ポジションオートロード/アンロードホルダーを備え、6〜8インチのウェーハに対応可能です。ウエハーは厚さ200mmまで可能です。このイメージングマシンは、高感度の32ビットLSIカラーを使用しており、特別な800-dpi感光タイルにマスクが生成されています。これにより、ライン幅の広がりが低く、非常に高解像度になります。このマシンは、インテルベースのプラットフォームで動作し、19インチモニターとPCベースのソフトウェアを備えたグラフィカルユーザーインターフェイスで提供されています。ソフトウェアはユーザーフレンドリーで、マスクアライナーの簡単なセットアップと制御を可能にします。さらに、PLA 600FAは、自動スリッター、乾燥オーブン、ホットステージチャックテーブルなどの周辺機器を提供します。また、薄型から厚型、平型、湾曲型まで、複数のウェーハをフレキシブルに真空チャックウエハ処理できます。さらに、シリコン、低k、窒化物、リン酸塩ガラス、ヒ素ガリウムなどの各種組成物のウエハ基板にも対応可能です。PLA-600FAは、画像の歪みを簡単に補正できるように、最先端のレーザー双方向スキャンも備えています。さらに、オートポジショニング、オートフォーカス、オートエクスポージャーなど、いくつかのユーザーフレンドリーな自動機能を備えています。全体として、PLA 600 FAは、MEMS、ナノエレクトロニクス、およびオプトエレクトロニクスの用途において、パターンや構造を高収率で製造するための理想的なマスクアライナーです。レーザー双方向スキャン、各種ウエハ基板組成処理、32ビットLSIカラー、高解像度イメージング、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスなど、高度な機能を誇ります。