中古 CANON PLA 600 FA #9148245 を販売中

CANON PLA 600 FAは、高度なリソグラフィ技術で使用するために設計された高精度マスクアライナーです。これは、広範囲にわたって正確なパターニングを保証する非常に高い精度を備えています。これにより、ユーザーはフォトマスクの解像度を上げることなく、目的のデザインを達成することができます。マスクアライナーは355〜420nmの範囲で動作し、600mmの大きなフィールドサイズを持っています。また、1xから16xまでの高解像度倍率を備えています。マスクアライナーは、サブミクロン機能の生産に必要な1ミクロンの順序でアライメントを実行することができます。このスキャナは、0。8ミクロンの分解能と0。1ミクロンの再現性を備えた空気軸受ステージを内蔵しています。このステージは、マスクとウェーハの正確なアライメントを保証するように設計されています。また、画素サイズが5 m、横解像度が4 mの高解像度CCDカメラを搭載 ています。CCDカメラは、アライメント精度を確保するために、ホモダイン、自動相関、グラデーション技術を使用しています。マスクアライナーには、Actinictmウェーハステージも装備しています。このステージは、10ミクロンのステージ解像度と1ミクロンの再現性で5倍の倍率を持っています。また、スキャナは、高速かつ安定したスキャンプロファイルを可能にするビームスキャンシステムを備えています。キヤノンPLA-600FAマスクアライナーには、その能力を向上させるソフトウェアも搭載されています。LexEcoツールキットは、最適な露出時間や線量などのさまざまなパラメータを管理するために使用されます。これにより、アライナーは適切なデータ収集と分析に必要なパラメータを備えています。欠陥検出、ウェハマッピング、距離測定機能も備えています。PLA 600FAマスクアライナーは、リソグラフィ技術のための高精度な機器です。その精度と解像度は、サブミクロン機能の生産に最適です。内蔵のエアベアリングとウェーハステージにより、マスクとウェーハの一貫したアライメントが保証され、追加のソフトウェアと機能により、アライナーは多くの特定のタスクに適しています。