中古 CANON PLA 600 FA #9049411 を販売中
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ID: 9049411
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligner, 4"
Illumination system: 250W:
Mirror lens tarnishing: yes
1st Mirror type: backside
2nd Mirror type: backside average
Condenser lens: 6"
Filter: N/A
Objective lens drive: Chain
Eyepiece lens: x10 / Objective lens x10
Down stopper: N/A
Pad size: 4"
Pad count: 3
XYZ: cross roller
W/C: standard
C/L: standard, cylinder
C-box MPU-II: ROM ver. VS60.
CANON PLA 600 FAは、集積回路やシステムの製造に使用されるマスクアライナーです。半導体、プリント基板、その他の回路ベースの部品の作成時に材料をパターン化するために使用されるマスクを正確に整列および位置決めすることができる高精度で汎用性の高いツールです。CANON PLA-600FAマスクアライナーの主な利点は、マスクを並べたりパターン化したりすることです。アライナーは、高精度、露光ステージ、イメージングシステム、可変倍率を備えており、極めて精密でミクロンレベルのパターンを作ることができます。精密パターニングも可能で、問題箇所の微調整が可能です。PLA 600FAを正しく動作させるには、まずマスクを露光ステージにロードし、z軸とxy座標の位置決めシステムを使用して正確に整列させる必要があります。その後、インシデント光のエネルギーを計測するためにイメージングシステムが使用され、マスク上のパターンを生成する露光プロセスを活性化するために使用されます。CANON PLA 600FAマスクアライナーのパワーと精度により、マスクパターンを均一に表示し、コントロールすることができます。このツールは、ステッチ、ステップとリピート、識別マーク、古典的なリソグラフィー、フォトリソグラフィー、ファインチューニングプロセスなど、幅広いプロジェクトやアプリケーションに適しています。最後に、PLA 600 FAマスクアライナーは、施設内の他のツールとのインタフェースも可能であり、一連のパターニング機器全体への上流統合を可能にします。そのため、ターンアラウンドタイムを短縮し、スループットを向上させ、精密加工ニーズに費用対効果の高いソリューションを提供できます。
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