中古 CANON PLA 600 FA #9030686 を販売中

CANON PLA 600 FAマスクアライナーは、ハイエンドの光学ステップアライメント装置です。ウェハレベルのリソグラフィープロセス用に設計されており、+/-5ミクロンの精度で正確にアライメントおよびパターニングすることができます。このシステムは、チップパターニング、パッケージング、MEMS、光学部品など、半導体業界のアプリケーションに最適です。アライメントユニットには、フルフィールド8チャンネルのADC画像取得機が装備されています。このセンサは非常に高解像度で高感度なため、低コントラストや高変調画像でもディテールをキャプチャできます。このツールは広い視野を持ち、広角の露出とイメージングを可能にします。また、高いスループット能力を備えており、大量の自動生産を可能にします。CANON PLA-600FA Mask Alignerには分割フィールド光学A軸があり、パターン化された領域の正確な2次元パターニングを行うことができます。このA軸は、マスキング、アライメント、エッチングのプロセスを制御するために使用されます。また、エッチングパターンを正確に定義し、あらゆるプロセスで正確さを確保するためにも使用されます。アセットにはCCDカメラとスペクトルフィルターが装備されており、マスクのアライメント機能を正確に検出できます。マスクパターンとウエハパターンの違いを計算することでアライメントを実現します。また、マスクの真ん中を検出する自動レーザー検出装置を搭載しており、手動で調整することなく正確かつ再現性の高いパターンを提供します。このシステムは、正方形、円形、六角形のパターンなど、さまざまなアライメントパターンを生成できます。また、高精度のマイクロステッピングモータを搭載しており、アライメント機能の正確で反復可能な動きを保証します。さらに、PLA 600FA Mask Alignerにはステッピングモーターコントローラがあり、パターニングの正確な垂直方向および水平方向のアライメントを可能にします。CANON PLA 600FA Mask Alignerは、ウェーハレベルのリソグラフィープロセス用のハイエンド光学ユニットです。高精度で再現性に優れ、大量生産に最適です。また、さまざまなアライメントパターンを作成する柔軟性を提供し、精密アライメントのためのCCDカメラとレーザー検出機を備えています。