中古 CANON PLA 600 FA #9026887 を販売中

CANON PLA 600 FAマスクアライナーは、半導体集積回路の製造に使用される高精度フォトリソグラフィ装置です。使いやすさと高精度を追求し、180mm〜200mmの幅広い基板に対応しています。基板と同じX-Yステージに搭載された精密なレーザーパターンジェネレータにより、高精度を実現します。これにより、基板全体のアライメントが可能になります。また、すべての基板においてグローバルシフトと高精度パターンサイズ調整が可能です。マスクアライメントと露出は、高品質のスキャニングイオンビーム（SIB）技術で実現され、オーバーレイ精度とスループットのバランスを最適化します。このユニットは回折マスクを使用して、必要なアライメントと露出をシングルランで実現し、基板表面にはるかにシャープな特徴を持つパルスレーザパワーアジャスターを組み込んでいます。高度な光学センサマシンを統合し、1 mの直接アライメント精度と2 mのオーバーレイ精度を保証 ます。このツールはまた、伝統的な方法で必要な時間のほんの一部でフォトレジストフィルムを処理するために様々な高度な技術を使用しています。これは正確な露出制御のための調節可能なシャッターアセットが付いている高度の紫外光源を含んでいます；そして自動調節および自動焦点のための多点ビーム走査モデル。装置は最大輸送機能のためのFOUP（前部開始UNPlease）のローダーのようなデジタルオートメーションの特徴の範囲と統合されます；パターンの再現性のために傾き&シフトを調節する自動傾き/シフト；そしてプロセス環境を変えるためのノズル集中装置。CANON PLA-600FAは、高密度および半導体デバイスの製造に最適で、拡張プログラマブル露光などの機能を備えています。このシステムは、高精度な結果と迅速なターンアラウンドを提供し、生産時間を短縮し、生産性を向上させます。