中古 CANON PLA 600 FA #9015364 を販売中

CANON PLA 600 FAは、CANON ASIAが製造する高度なフォトリソグラフィーマスクアライナーです。その先進技術は、高精度のリソグラフィープロセスを必要とする製品に高精度で信頼性の高いマスクアライメントを提供するように設計されています。CANON PLA-600FAは、ウェーハマスクとウェーハまたは基板表面のアラインメントをサポートするために構築されています。エアベアリングステージ、フォトレセプターステージ、光の検出ステージ、ウェーハ搬送ユニットなどの主要部品で構成されており、すべてが精密なアライメントを提供するように設計されています。エアベアリングステージは、マスクステージとウェハステージに最適な作業環境を提供します。これは、非常に滑らかで正確な動きのための低粗さエラストマー層に貢献するミニチュアエアベアリングカートリッジによって達成されます。さらに、2本のリニアガイドレールで構成された平面ステージモーションシステムを使用して、高精度のステージ移動と位置決めを保証します。フォトレセプターステージは、ウェーハとマスクパターンの正確なマッピングを可能にするように設計されています。これは、ステッピングモータのズーム機構によって可能になり、最大700ミクロンの視野を高精度に提供することができます。さらに、4つの撮影角度から撮影した画像を一体化したイメージングシステムと、2つのUV-IR光源でウェーハとマスクステージを照射し、検査を行います。軽い検出の段階は長期安定性を提供するように設計されています。これは、ウェーハとマスクによって放出される光強度を正確に検出し、正確なアライメントを確保する非接触光学力検出器によって実現されます。最後に、ウェーハトランスポートユニットは、ウェーハとマスクの高速かつ効率的な移動を可能にします。これは可変ピッチコイルを使用することで可能になり、従来の鉛ねじシステムよりも滑らかさが大きくなります。全体として、PLA 600FAは高度で高精度で信頼性の高いマスクアライナーです。その先進技術は、ウェーハマスクとウェーハまたは基板表面間の高精度で信頼性の高いアライメントを提供するように設計されています。