中古 CANON PLA 600 FA #33364 を販売中

CANON PLA 600 FAは、フォトリソグラフィ用に特別に設計されたマスクアライナーです。このデバイスは、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、半導体デバイス製造、有機および無機薄膜堆積、複製などのアプリケーションに適しています。マスクアライナーは1060 × 830 mmを測定し、1時間あたり6,000ウェーハの最適な生産性を備えています。それは生産性を最大にするために互いに独立して動く2つのモーターを備えていますマスクの段階。さらに、マスクアライナーは高度な制御機構を使用しており、精密で再現性のあるリソグラフィープロセスを可能にします。CANON PLA-600FAは、目に見えるアルゴンイオンレーザーと、紫外線（UV）キセノンフラッシュランプの2つのレーザー光源を搭載しています。アルゴンイオンレーザーは504-514ナノメートルの広い波長範囲を提供し、<2ミクロンの光学分解能を提供します。紫外線キセノンフラッシュランプは、248ナノメートルの波長でレジストパターンを作成し、検査するために使用されます。また、パターンマッチングポイントを測定し、歪みを認識することでマスクをウェーハに正確に配置する超高精度プレアライメントユニットも搭載しています。このマスクアライナーにはDSP （Digital Signal Processing）システムが搭載されており、画像サイズ、位置、変形を制御することができます。また、高速、高精度のアライメント精度で高精度なパターンを作成することができます。4軸モータで自動アライメントとイメージングを行い、高速かつ正確な位置決めを可能にします。このデバイスは、2ミクロン以下の非常に小さな粒子を検出することもできます。また、PLA 600FAは高度な数値最適化アルゴリズムを備えており、プロセスの歩留まりを改善し、リソグラフィ時間を短縮します。タスク定義機能も備えており、タスクを特定のユニットに割り当てることができ、タスクごとにシステムを自動的に最適化することができます。さらに、CANON PLA 600FAには、診断と自己診断システムが内蔵されており、ユーザーが簡単に診断およびトラブルシューティングを行うことができます。最後に、PLA 600 FAは、高精度で高速な処理を必要とするフォトリソグラフィープロセスに最適です。このデバイスは、産業用途に最適であり、信頼性が高く、効率的で費用対効果に優れています。