中古 CANON PLA 600 FA #293747917 を販売中
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CANON PLA 600 FAは、ナノインプリントリソグラフィなどの高精度な製造工程で使用されるマスクアライナーです。高出力の光源を使用して、基板上のフォトマスクを正確かつ正確に整列させる精密機械です。この装置は、正確なアライメントとオーバーレイ制御を必要とするアプリケーションで使用するように設計されています。キヤノンPLA-600FAマスクアライナーは、最も正確な製造要件を満たすように設計されています。視野が広く、焦点距離が長いため、基板上にフォトマスクを配置する際の精度を確保します。このシステムは正確な再現性も備えており、プロセス全体の一貫性と信頼性を確保します。また、ICT （Imaging Confirmation Technology）を使用してマスクの正確なアライメントを実現し、アライメントの正確な判断を可能にします。ICTはまた、マスクの深さと位置を最適化し、マスクのオーバーレイ精度をさらに向上させるのに役立ちます。このユニットは、高出力光源を備えており、正確な画像処理が可能で、波長は250〜1100nmです。PLA 600FAは、最小150〜1000µmのさまざまなサイズで使用でき、幅広いプロジェクトを高精度で完了させることができます。最大速度25mm/秒の高効率マスクXYステージ、最大速度8mm/秒の対称XYステージなど、フォトマスクや基板を調整するためのさまざまなステージを備えています。また、リアルタイムの歪み補正やエラー低減などのさまざまな補正サービスをサポートし、最終パターンの変動を最小限に抑えます。PLA-600FAは、最大厚さ1000nmの薄膜の成膜にも対応しています。アセットは操作が簡単で、生産性を向上させるために自動化することができます。全体として、PLA 600 FAは、最も正確で正確な要件を満たすように設計された優れたマスクアライナーです。強力な光源、洗練されたイメージングモデル、さまざまな補正技術により、ナノインプリントのリソグラフィやその他の精密製造プロセスに最適です。
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