中古 CANON PLA 600 FA #154145 を販売中

CANON PLA 600 FAは、精密なリソグラフィ用途向けに設計された高度な自動マスクアライナーです。半導体デバイス製造、ナノテクノロジー、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）など、幅広い用途に適しています。CANON PLA-600FAには、自動3Dアライメント装置と複数のレーザーソースが搭載されており、複数のレイヤーを正確かつ正確にアライメントすることができます。PLA 600FAの3次元（3D）アライメントシステムは、マスクを正確に配置することができ、様々な材料に精密な石版加工を行うための信頼性の高いツールです。3Dアライメントにより、パターンと基板の両方を正確にアライメントできます。ユニットはまた、ミスアライメントの可能性を低減し、5 μ mのアライメント精度を向上させます。CANON PLA 600FAは、様々な材料のパターニング作業に非常に有用なレーザー光源を幅広く搭載しています。これらのレーザー源には、エキシマレーザー、近赤外線ダイオードレーザー、および超短パルスレーザーが含まれます。エキシマレーザーは、主に半導体デバイスのSiO2層など、可視光にさらされない材料の加工に使用されます。近赤外線ダイオードレーザーは、レーザトリミング、パターニング、エッチング操作のための強力なツールです。また、接触リソグラフィーや近接リソグラフィーなど、さまざまな用途に使用できるさまざまなリソグラフィープロセスを提供しています。接触リソグラフィープロセスは、MEMSで使用されるような小さなパターンを作成するのに理想的ですが、近接リソグラフィープロセスは大規模なリソグラフィー操作に最適です。さらに、PLA 600 FAは露出線量を制御することができ、最小線幅は5 umです。最後に、PLA-600FAは使いやすく、操作も簡単で、小規模および大規模なリソグラフィ用途に適しています。このツールには、チャンバー、ステッピングモータ、およびユーザーが簡単に操作できるソフトウェアなど、円滑な操作を可能にするために必要なすべてのコンポーネントが付属しています。さらに、アセットにはリモートコントローラが付属しており、ユーザーはモデルのパラメータをリモートで制御できます。