中古 CANON PLA 600 FA #151689 を販売中

CANON PLA 600 FAは、微細およびナノスケールの精密フォトリソグラフィ用に設計されたマスクアライナーです。高度なコンピュータ制御ウェーハステッパーで、幅広い用途に適した機能を備えています。マスクアライナーは、キセノンランプ、スキャナー、6インチラウンドガラスプレートを備えたステージを備えています。このステージは、200mmウェーハからペトリ皿まで、さまざまな基板を扱うように設計されています。スキャナとランプは、正確な位置決めのために自動化された精密X-Yドライブに接続されています。ステージは5-400mmの焦点距離とノンマニュアルフォーカスのオーバーライドを備えています。焦点距離と焦点のオーバーライドを併用することで、光学系のXY調整が基板の正確な角度配置を実現します。CANON PLA-600FAは、1つのウエハ上で複数のマスクを同時に正確に配置および整列することができます。マスクはマスクリーダーに配置され、単一モードまたはデュアルモードに設定できます。マイクロステッピングモータによって駆動されるリーダーは、マスクの向きを読み取り、保存し、オペレータが正確にウェーハにマスクを配置することができます。このシステムにはメモリストレージも装備されており、オペレータは将来使用するために最大3つのマスクの向き設定を保存することができます。マスクアライナーの最先端の機能は裏面アライメントであり、印刷基板上のマルチマスクの向きを正確に制御できます。バックサイドアライメント機能により、ウェーハステッパーのリモートコントロールも可能になり、手動での介入が不要になります。PLA 600FAはまた、オペレータが複数のマスクの位置合わせを正確に追跡および維持することを可能にする統合ソフトウェアを提供しています。このソフトウェアはまた、マスクアライメントの精密な微調整を可能にするマルチレベル制御オプションを提供します。全体として、CANON PLA 600FAは高度で柔軟性の高いマスクアライナーで、マイクロスケールおよびナノスケールのアプリケーションにおいて卓越した精度と制御を提供します。これは、ユーザーが特定の要件を満たすためにさまざまな機能を提供するリソグラフィを印刷するための強力なツールです。