中古 CANON PLA 501 #9301351 を販売中

CANON PLA 501は、ユニークで低コストで使いやすいデザインのデスクトップマスクアライナーです。この製品は、高い空間精度と精度制御により、優れた反復可能なリソグラフィ性能を提供します。この装置は、自動アライメントおよびウェーハ処理機能を備えているため、光学リソグラフィに関連する時間とコストを削減できます。CANON PLA-501は、マスクとウェハレベルの正確なアライメントと定義を可能にする高解像度、高エネルギー、低歪み検出システムを備えています。キヤノン独自のパルスレーザー技術を搭載し、1回の操作で複数の露光を行うことができます。このマシンは、マスクまたはウェーハを正確に露出するために一連のパルス幅と強度を使用します。ユニークなレーザー配置により、マスクまたはウェーハ全体の露出が均一になります。これは、少ないアーティファクトで最適な結果を促進します。このツールは、露出分布と焦点を改善するための2段階の露出プロセスを利用しています。第1段階は、マスクパターンを素早く正確に検出するアライメント方式です。第2段階では、最適な線量と露出が基質に適用されます。これにより、パターンが一貫して基板に転送されます。このアセットには、露出パラメータを最適化して精度と再現性をさらに向上させる高度なソフトウェアが含まれています。また、アライメント検証、露出の自動最適化、測定フィードバック制御など、複数のツールが統合されているため、高いスループットと効率的なパフォーマンスが可能です。ソフトウェアは使いやすく、どの言語でも操作できます。PLA 501にはさまざまな機能があり、基礎研究と商用アプリケーションの両方に最適です。このモデルは、さまざまな基板上のリソグラフィなど、幅広い用途に対応できます。ユニークなデザインとユーザーフレンドリーな機能により、あらゆるラボに最適です。