中古 CANON PLA 501 #9259719 を販売中

CANON PLA 501マスクアライナーは、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用されるフォトリソグラフィ機器です。真空チャックとマスクプロセスを利用して、基板上の薄膜にパターンを迅速かつ正確に揃えて露出させます。キヤノンPLA-501は、精密なアライメントと優れた機能の一貫性を提供するため、生産ラインに費用対効果の高い付加物です。このアライナーは、1。25インチのギャップと8。5ミルの焦点範囲を持つ、最大4インチの基板または9×10。5インチのピースに適しています。CANON PLA 501mask alignerは、高解像度のサーボ制御ステッピングモータとデュアルエンコーダを使用して、正確なパターンアライメントを実現します。本体と真空ヘッドの2つの主要コンポーネントで構成され、光学アライメント光学系とマイクロアライナーを備えています。本体には真空チャック、マスクアライメントアパーチャ、露出ランプが収納されています。真空ヘッドは、基板を固定し、マスクを正確な位置に移動させるために使用されます。ヘッドは機械のベースに取り付けられ、マスクは光学アライメント倍率システムを使用して平面に配置されます。PLA 501マシンの露出システムは、複数のランプとコントローラで構成され、所定の設定で露出量を調整します。露出ランプはスライダーブロックに取り付けられており、露出を簡単に調整できます。露出コントローラは、ビームの強度を測定し、露出出力を生成することによって露出時間を決定します。また、露出補正のプログラムと手動または自動露出モードの選択を可能にします。PLA-501機械は比較的小さい装置です-その寸法はわずか26。77 「W x 26。77」 D（真空ヘッドを含む）であり、その重量はわずか59lbsであり、6'のフットプリントに収まることができます。また、安全性のためにUL-60079-1認定されており、最も敏感な基板でも必要な保護を提供するように設計されています。CANON PLA 501 Machineは、CANONによって開発された独自のソフトウェアであるCANSCANを搭載しています。これは、マスクレイアウト、基板選択、露出パラメータ調整、自動および手動モードによるアライメント、および数値計算、事前設定、プログラム可能な露出線量など、システムの機能を制御するためのインターフェイスを提供します。全体として、CANON PLA-501 Mask Alignerは、高精度なアライメントと優れた機能の一貫性を提供するコンパクトで費用対効果が高く、使いやすいツールです。安全性がUL-60079-1認定されており、CANSCANと互換性があり、マイクロエレクトロニクスデバイスの生産に理想的なマシンです。