中古 CANON PLA 501 #9198592 を販売中

CANON PLA 501は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されるフォトリソグラフィープロセス用の精密マスクアライナーです。このマスクアライナーは、高速スキャン速度と高い精度を備えており、集積回路ウェハの精密なリソグラフィを可能にします。露光波長は248nmで、他の波長にも簡単に設定できます。光学装置は安定した焦点およびイメージ投射の性能を提供するように設計されています。キヤノンPLA-501は、4インチの住居面積を有し、解像度は0。2ミクロンです。アライメントとリソグラフィ精度は0。1ミクロンで維持されます。スキャンモードには、シングル、ロング、固定フィールドスキャンが含まれます。アライナーは、特許取得済みのパターンマッチングシステムで最適化できます。露出の頭部はステッパー制御を可能にし、優秀な性能をもたらします。1分間に最大50サイクルの高速処理能力を持ち、高品質な処理のために40dB以上の空中画像SNRを備えています。オプションの基板変換ステージユニットにより、異なる露出間を急速に変化させることができ、高精度で高いスループットを実現します。マスクアライナーは、長時間の露出のために温度を安定させるための温度制御機を備えています。正確な温度と湿度制御により、露出が向上し、常に最高の精度を維持します。PLA 501は、液晶ディスプレイやLEDなどのFPD（フラットパネルディスプレイ）システムも提供しています。このアライメントツールは、反射面の反射や気泡による歪みを低減することもできます。強力なソフトウェア駆動PLA-501マスクアライナーは、資産設定とパラメータのユーザーフレンドリーな制御を提供します。また、大量生産の要件を満たすために、幅広い先進機能を搭載しています。全体的に、CANON PLA 501は信頼性が高く使いやすい堅牢なマスクアライナーです。高精度で高品質の集積回路を製造することができます。この高度なフォトリソグラフィーツールは、ディスプレイパネル、半導体、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。