中古 CANON PLA 501 #9194809 を販売中

CANON PLA 501は、半導体デバイスや回路基板の製造に使用されるマスクアライナーです。これは、今日のデバイス製造プロセスの厳しい要求に応えながら、歩留まりを改善するように設計された完全自動化システムです。CANON PLA-501は、コンピュータ制御の光学系を活用した高度なマスクアライナーです。最大285mmの視野を持ち、より広い範囲のウエハサイズを正確に揃えることができます。アライメント精度は10 μ mと低く、高密度で精密な半導体デバイスの生産に有益です。また、ウェーハ上のミスアラインチップや傷の低減にも効果があります。PLA 501にはデュアルフィニッシングシステムが装備されており、プロセスの柔軟性が向上します。これにより、シングルレイヤーとダブルレイヤーパターンウエハの両方を処理でき、デバイスの製造に使用できます。また、45nmまでの高度なオーバーレイを備えており、チップ性能の予測可能性を高めています。PLA-501はまた、完全に自動化されたウェーハフォークピックアップシステムにより、コスト削減のプロセス自動化を備えています。ピックアッププロセスを自動化することで、汚染によるウェーハのアライメントの誤りが軽減されます。したがって、ヒューマンエラーを大幅に削減します。1時間あたり最大150ウェーハの高速スループットを実現し、リソースを解放し、処理時間を短縮します。さらに、マスクテーブルに内蔵された圧力センサにより、画像転送に必要な圧力制御の精度が向上します。このマシンは、すべてのマスクアライナー設定を制御するために利用可能な多数のユーザーインターフェイスで、使いやすさとメンテナンスのために設計されています。CANON CLEAN EXCELL Cleaning Appartmatusと組み合わせて使用することで、メモリ製造における洗浄時間を短縮できます。全体として、CANON PLA 501は、精密なアライメント精度とコスト効率の高いプロセス自動化を提供する先進的な機械です。半導体製造におけるデバイス・パターンの最高品質を確保しつつ、より高い歩留まりを提供します。