中古 CANON PLA 501 #9030687 を販売中

CANON PLA 501は、レーザーを用いてウェーハ上のパターンを正確に作成するためにキヤノンが開発したマスクアライナーです。CANON PLA-501は、高エネルギー集光レーザービームを使用して、14 μ mの最小フィーチャーサイズの精密な立体パターンを作成します。また、最適なエッチング精度と最小限の反射で均一で信頼性の高いアライメントを備えています。マスクされたアライメントと露出プロセスは、デュアルビーム装置で実行されます。PLA 501のパターン処理に使用されるビームは、25 μ m/100 μ m、 30 μ m/120 μ m、 40 μ m/160 μ mです。デュアルビームシステムは、2つの異なるプロセスで2つのパターンを同時に露出させるために使用され、PLA-501はマスクの変更を減らし、スループットを2倍にすることができます。CANON PLA 501には、レーザエネルギーの不足による誤差を防止するためのレーザースペーシング装置が搭載されています。それはまた調節可能なスキャン速度が可能で、機械調節の必要性なしで容易に調節することができるレーザースキャンの光学単位が装備されています。さらに、高精度高度調整機を搭載し、安定した性能と高精度を維持します。また、振動などの環境要因による解像度の誤差を低減するために、レーザーの経路を絶縁するノイズダンピングツールを備えています。マシンの全体的な仕様はユーザーフレンドリーで、ソフトウェアと専用の操作機能により、さまざまな生産要件に適応するのに十分な柔軟性があります。このマシンのソフトウェアには、低ノイズオプティマイザ機能が搭載されており、パターン形状を最適化し、不安定性の発生を低減するために、レーザー出力と露光時間を自動的に調整することもできます。全体的に、キヤノンのPLA-501は、高精度のパターニング精度と再現性を提供できる信頼性とユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。そのデュアルビームアセットとそのソフトウェア機能は、ウェーハパターンの生産のための効率的で信頼性の高いマシンになります。