中古 CANON PLA 501 #9004050 を販売中

CANON PLA 501は、電子デバイスの製造に不可欠なプロセスをサポートするために設計された先進的なマスクアライナーです。フォトリソグラフプロセス向けに設計されたキヤノンPLA-501は、半導体集積回路などマイクロエレクトロニクス機器の製造において重要な役割を果たしています。PLA 501には、マスクアライメントプロセスを最適化するために設計された複数の機能が装備されています。マスクアライナーは、自動真空吸引機能を備えたウェーハステージプレートを備えており、リソグラフィ用のウェーハの正確なアライメントを容易にします。これは、マスクのパターンの画像をキャプチャするためにマスクを照らすクラス最高のデジタルイメージング機器と組み合わされています。イメージングシステムは、0。5 μ mまでの解像度でパターンをキャプチャできる高解像度CCDカメラを使用しています。PLA-501はまた、処理中のウェハに合わせて光源の焦点を調整する完全自動焦点調整ユニットを備えています。この機械はユーザーがリソグラフィのプロセスの間に焦点の質を監視し、再生可能な直線の正確さおよび生産の最高の決断を達成することを可能にします。マスクアライナーには、異常やその他の発生のためのパターンのアライメントと回転があり、マスクパターンのイメージを乱す可能性があります。これらの機能に加えて、CANON PLA 501は、効率と生産性を向上させるためのさまざまな自動プロセス・オプションも提供しています。ユーザーは、化学的均一性と接着性の向上を実現する自動ケミカルコーティングプロセスと、空力干渉を低減する自動反射防止コーティングから選択できます。また、レーザーダイレクトライティングや電子ビームダイレクトライティングなど、高精度なパターニングやエッチング処理を可能にするプロセスオプションも数多くPLA-501しています。全体として、PLA 501は、マスクパターンのアライメントをインテリジェントに管理し、フォトリソグラフプロセスでイメージを再現するように設計された高度なマスクアライナーです。マスクアライナーは、さまざまな自動化されたプロセスと優れた解像度を提供し、ユーザーは生産で可能な限り最高の精度と精度を達成することができます。