中古 CANON PLA 501 #293828883 を販売中

CANON PLA 501は、微細な機能を備えたマイクロスケールのデバイスを正確かつ効率的に製造できる、高度で特殊なマスクアライナーです。アライナーは4つのポイントセンタリングシステムを組み合わせた高度なアライメント装置を備えており、4つの長持ちアライメントセンサとレーザダイオードを使用して基板を接触なしで測定します。これにより、基板からマスクへの登録とアライメントの優れた精度と再現性が保証されます。アライナーはまた、10X顕微鏡の対物レンズと宿泊施設と応用力の精密制御のための5X顕微鏡の接眼レンズを備えた精密光学ユニットを誇っています。さらに、制御マイクロプロセッサは、0。1〜200万分の1メートルの範囲で高精度を保証します。また、アライナーにはマスクステージが内蔵されており、マスク位置を素早く簡単に設定でき、正確なマスクからウェーハへの登録が可能です。マスクステージは調整可能で、マスクオーバーハングの量を変更することができ、0。05〜0。7マイクロメートルの範囲をカバーするために焦点の深さを増加させます。可変速度マスクプレーンサーボドライブは、マスクの正確な移動と位置制御を提供します。マスクステージのオープンフレームのモジュール設計により、混雑したラボ環境でも簡単にアクセスできます。マスクは真空機を使用して所定の位置に保持され、ステージ自体は安定して反復可能です。対応マスクには、溶液処理された有機レジスト、LEDレジスト、フォトレジスト、二酸化ケイ素、金属マスクなどがあります。CANON PLA-501マスクアライナーは、光学ゲージを内蔵し、露光設定を高精度かつ再現性のある自動sharpening‰Ûª機能を備えています。このツールは、1時間あたり最大10個のウェーハの超高スループットを目指して設計されており、将来の使用のために最大2000万枚のアライメントショットを保存できます。アライナーは、統合された光学ゲージを含む、ほとんどの標準的でカスタマイズされたフォトリソグラフィーベンチとの互換性のために設計されています。これにより、集積回路、センサ、およびその他のマイクロスケール機器の製造において、生産性と精度を向上させたい研究室にとって理想的な選択肢となります。